美國PARKER隔膜閥,派克產品系列
爆破壓力 375 psig (26 barg) (AOPLP, G)
900 psig (62 barg) (AOPMP, K, L, I, M, S)
流體容量(CV) Cv 0.3 (AOP), Cv 0.22 (杠桿)
內部泄漏率 ≤ 1 x 10ˉ9 scc/sec He
外部泄漏率 ≤ 2 x 10ˉ10 scc/sec He
內部容積(毫升) 2.64 cc
重量(磅) 1.75
930 系列隔膜閥(1-1 / 8英寸的閥體尺寸)可用于各種手動操作和氣動執行器操作。它擁有優異的可靠性,泄漏完整性和清潔度,使其在UHP半導體行業中成為理想的應用
閥體材料 非常清潔的 316L不銹鋼
隔膜材料 相當于埃爾吉洛伊非磁性合金(Elgiloy)
Vericlean? 是派克專有的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。 930系列還提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮樹脂(PEEK?)和聚酰亞胺(Vespel?)材質的閥座,可使930閥門與各種工藝流體相兼容。這些材料結合930系列嚴格的設計特點,給予了930系列產品在入口壓力高達300 psig時極度的耐腐蝕性和*循環使用壽命。
底座材料 PCTFE聚三氟氯乙烯(標準),PEEK(聚醚醚酮樹脂),聚酰亞胺(Vespel)
蓋帽材料 17-4不銹鋼
螺母材料 316L 不銹鋼
重量(公斤) 0.8
開關類型 單刀單擲(SPST)
瞬時性動作,不可調
輸入電壓 1/4 amp 在115 VAC(常閉)(AOPLPLSC,AOPMPLSC)
1/2 amp在115 VAC(常開)(AOPLPLSO,AOPMPLSO)
930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計,可*限度地減少顆粒產生和截留,減少半導體應用中必不可少的工藝污染。該系列閥門的嚴格設計,控制閥座和隔膜應力,以提供可靠和免維護的使用壽命。930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成,提供*的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的Vericlean? 316L不銹鋼材質。
殼體材料 陽極氧化鋁
證明壓力 188 psig (13 barg) (AOPLP, G)
美國PARKER隔膜閥,派克產品系列