CKD工藝氣體用閥SRL3-LB-50B-200-MOH3-T產品說明
使用PMP系列時，先導空氣通過膜片，可能會在液體中產生氣泡。不便用時,建議不要對先導空氣持續加壓。
對于AMD系列的帶流量調節以及MMD系列,請將調節旋鈕從全閉狀態向打開方向能轉規定圈數以上使用。若低于上述值使用,在某些條件下可能會發生攝動、流量變化等。《參照第116-120頁)此外。流體溫度發生變化時,在某些使用條件下也可能發生流量變化。
采用金屬膜片的工藝氣體用閥新品種。
已作為采用鍛造閥體的通用型產品發布。
備有氣控型、手動型。行業化學氣體供給設備用元件化學液體供給設備用元件半導體制造工序（前工序）氮氣清洗關聯元件
采用金屬膜片的工藝氣體用閥的核心產品。
除單體、集成型外，還備有3通閥、2連3通閥等種類豐富的產品。節能型真空排氣裝置。工藝氣體排氣用真空發生器。
噴嘴直徑：Φ0.5采用金屬膜片的工藝氣體用減壓閥。
為氣體壓力、流量的穩定化作出貢獻。
供液用化學液體氣控手動閥AMD海1H-MMD※0H系列化學液體用氣控手動閉AMD※1M-MMD崇0M系列注意
利用簿膜回收透過氣體或檢測池潺時,請拆下止動螺絲，將檢測口用作配管口。此時的配管假定為氟樹脂，請按0.4N -m以下的扭矩進行緊固。
請在全開或全閉狀志下使用MMDIOH。MMD5OM系列。不可在中問位置使用
描作閥時,請將旋鈕旋轉至發生空轉為止(聽到“咔嗒"聲)。握著鎖緊環旋轉時旋鈕不會空轉。可能會由于過度擰緊導致閥座老化或產品損壞。
即使旋鈕空轉,但閥門仍不笑閉、或閥門不打開時,請將嫁絲刀等工具插入能鈕側面的孔中,并旋轉旋鈕。觀察該孔，內部出現綠色的指示器時，為可強制操作的獲態。孔中看不到綠色的指示器時,請的轉旋鈕以對齊位置。
1AMD -GAMD系列中,根據流體壓力條件，可能會發生水錘、振動等。大多數情況下可通過調速閥等調整開閉速魔來得到改善。如果無法改善，請重新考慮流體壓力、配管條件。
5.。rMM, rTM、rMr承列T,體品業片出、里.
供給壓力的變化、配管等的條件,可能會發生振動,從而影響產品壽命。一旦發生。請重新考慮流體壓力、流量條件。
減壓閥以微小的開度產生動作,一旦流入混入雜質的流體，將導致閥座受報，性能降低。可能混入雜質時。建議在減壓閥的1次側安轉過濾群。
在過減壓閥設定壓力的輸出壓會導致二次側裝置損年或動作不良的場所。請務必安裝安全裝置。
CKD工藝氣體用閥SCG553A018MS 220VAC產品說明
使用PMP系列時，先導空氣通過膜片，可能會在液體中產生氣泡。不便用時,建議不要對先導空氣持續加壓。
對于AMD系列的帶流量調節以及MMD系列,請將調節旋鈕從全閉狀態向打開方向能轉規定圈數以上使用。若低于上述值使用,在某些條件下可能會發生攝動、流量變化等。《參照第116-120頁)此外。流體溫度發生變化時,在某些使用條件下也可能發生流量變化。
采用金屬膜片的工藝氣體用閥新品種。
已作為采用鍛造閥體的通用型產品發布。
備有氣控型、手動型。行業化學氣體供給設備用元件化學液體供給設備用元件半導體制造工序（前工序）氮氣清洗關聯元件
采用金屬膜片的工藝氣體用閥的核心產品。
除單體、集成型外，還備有3通閥、2連3通閥等種類豐富的產品。節能型真空排氣裝置。工藝氣體排氣用真空發生器。
噴嘴直徑：Φ0.5采用金屬膜片的工藝氣體用減壓閥。
為氣體壓力、流量的穩定化作出貢獻。
供液用化學液體氣控手動閥AMD海1H-MMD※0H系列化學液體用氣控手動閉AMD※1M-MMD崇0M系列注意
利用簿膜回收透過氣體或檢測池潺時,請拆下止動螺絲，將檢測口用作配管口。此時的配管假定為氟樹脂，請按0.4N -m以下的扭矩進行緊固。
請在全開或全閉狀志下使用MMDIOH。MMD5OM系列。不可在中問位置使用
描作閥時,請將旋鈕旋轉至發生空轉為止(聽到“咔嗒"聲)。握著鎖緊環旋轉時旋鈕不會空轉。可能會由于過度擰緊導致閥座老化或產品損壞。
即使旋鈕空轉,但閥門仍不笑閉、或閥門不打開時,請將嫁絲刀等工具插入能鈕側面的孔中,并旋轉旋鈕。觀察該孔，內部出現綠色的指示器時，為可強制操作的獲態。孔中看不到綠色的指示器時,請的轉旋鈕以對齊位置。
1AMD -GAMD系列中,根據流體壓力條件，可能會發生水錘、振動等。大多數情況下可通過調速閥等調整開閉速魔來得到改善。如果無法改善，請重新考慮流體壓力、配管條件。
5.。rMM, rTM、rMr承列T,體品業片出、里.
供給壓力的變化、配管等的條件,可能會發生振動,從而影響產品壽命。一旦發生。請重新考慮流體壓力、流量條件。
減壓閥以微小的開度產生動作,一旦流入混入雜質的流體，將導致閥座受報，性能降低。可能混入雜質時。建議在減壓閥的1次側安轉過濾群。
在過減壓閥設定壓力的輸出壓會導致二次側裝置損年或動作不良的場所。請務必安裝安全裝置。
CKD工藝氣體用閥SRL3-LB-50B-200-MOH3-T產品說明
