派克隔膜閥工作電壓MV-20-04-0606
功能資料:
MV-20系列是一種聚四氟乙烯含氟聚合物手動隔膜閥,用于半導體和清潔區域應用中研磨漿料介質和侵蝕性流體的流量控制。該閥門的流道設計可產生*小的壓降,從而降低上游的壓力要求,改善流體流動動力學。它有兩通和三通配置,以及三種孔口尺寸(1/4英寸、1/2英寸和1英寸)。端口尺寸從1/4到1-1/4英寸不等,可提供Parflare、Pargrip或Nippon Pillar S300端接。
MV-20系列的傾斜和圓形流道,加上隔膜周圍的開口和掃掠碗形,*限度地減少了湍流,消除了可能導致流體剪切的銳角。這減少了顆粒截留,并提供了增強的防腐保護。
的來說,該閥的設計使其特別適合處理研磨性和腐蝕性漿料流體,例如在半導體制造中使用的CMP(化學機械平坦化或化學機械拋光)工藝中發現的那些。MV-20系列還適用于廣泛的其他清潔區域處理和分析應用,如控制酸、化學品和DI水的流量。
MV-20系列的內部(閥座)密封經過氦氣泄漏測試,以確保清潔區域應用的性能和可靠性,在清潔區域應用中,高泄漏完整性和*小顆粒生成至關重要。
MV-20系列泥漿閥閥體由*高純PTFE制成,具有優異的耐化學性。這與一體式改進的PTFE隔膜相結合,為閥門提供了*的靈活性和在高達100 psig的壓力下的*循環。閥門本身也非常緊湊,這使操作員能夠節省關鍵的潔凈室和子工廠空間。
MV-20系列PTFE漿料閥可對腐蝕性化學品和研磨性漿料介質提供的密封性能。該閥門限度地減少了顆粒的產生,設計用于半導體制造和清潔區域應用。
端口連接類型:3/8“Parflare
潤濕材料:PTFE,改性PTFE
流量控制:1/4 TURN
流速:Cv.76 Cv
流量系數:Kv 10.8L/min
長度:3.96英寸,100.58毫米
非潤濕材料:PVDF、氟橡膠、PTFE涂層SS彈簧
額定壓力:27“HG真空(913毫巴)-80 PSIG(5.5巴)
機身尺寸(英寸):1/4
環境溫度:66°C,150°F
派克隔膜閥工作電壓MV-20-04-0606