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進口日本神視晶圓定位傳感器性能特點，M-DW1
上海乾拓貿易有限公司
：楊江玲
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而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
?剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時)
0.4V以下(流入電流為16mA時)
PNP開路集電極晶體管
?大源電流：100mA
?外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
輸出動作
可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON
短路保護
背面教導：按本體靈敏度設定按鈕運行
檢測靈敏度切換：本體開關2bit、4級或外部輸入的2級選擇式
裝備(自動復位)
反應時間     500μs以下
因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。
?剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時)
0.4V以下(源電流為16mA時)　
?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
靈敏度切換輸入
信號條件
?輸入OFF：斷開或4?8V
?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
M-DW1使用LED光源。確保操作人員安全。
亦可檢測玻璃晶圓
內置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，質量約為75g的小巧、輕盈型。
中心測量距離  45mm
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
可從四個方向引出電纜
傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜。
可根據傳感器的設置情況靈活調節。
信號條件
?投光停止：斷開或4?8V
0.5ms的高速反應
實現0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
定時器功能
裝備約2ms固定斷開延遲定時器　有效/無效切換式
投光停止輸入
NPN開路集電極晶體管
?大流入電流：100mA
檢測物體  3英寸以上的半導體晶圓
可對應檢測面  有受光方向反射面的端面形狀的檢測面
檢測角度  12.5±5°
晶圓間距  間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測
適用晶圓盒  SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓  12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的都能檢測出玻璃晶圓。
可檢測涂氮晶圓
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
工作狀態指示燈
橙色LED(輸出ON時亮起)
穩定指示燈
綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈)
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
消耗電流  65mA以下
輸出  NPN輸出／PNP輸出　可由切換開關選擇
?外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)
安全性的LED式
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員，十分危險。

進口日本神視晶圓定位傳感器性能特點，M-DW1